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半導體專用設備 For Semi
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真空擴散爐
產品特點
● 結構可分為立式、臥式
● 分組合可，便于安裝調試
● 斷電自動處理保護功能
● 超溫、斷偶保護
● 恒溫上下偏差報警
● 氣體流量上下偏差報警
● 斷電氣體保護
● 系統自動修正恒溫區
● 采用無油真空機組
● 管路采用Swagelok自動焊機焊接，安全、可靠
● 氣體流量控制采用進口質量流量控制器
● 全自動送料機構，定位精度高、重復性好、裝卸簡單、調整簡易方便；結構可分斜桿式、單桿式、懸臂式
技術指標
● 溫度范圍：400℃～1300℃
● 恒溫區長度：800mm
● 恒溫區精度：±0.5℃（800℃～1300℃）
● 可控升溫速率：15℃/min
● 可控降溫速率：5℃/min（1300℃～800℃）
● 爐門溫度：＜80℃
● 真空度：≤2.0 x10-3Pa
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