半導體專用設備 For Semi
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燒氫爐
設備概述
燒氫爐主要用于電力電子器件、熱敏電阻、可控硅模塊、陶瓷金屬化等器件在氫氣氣氛保護下進行還原、燒結、退火、合金等工藝,也可進行氧化工藝。
設備特點
● 可連續工作,生產效率高
● 原裝進口控溫器,數顯溫度
● 出料口配有水冷卻系統
● 爐門以及進出料口,采用進口310S不銹鋼材料
● 操作形式:連續工作,火頭大小可以調節控制
● 加熱爐體兩側配有對爐體的水冷卻系統
● 報警保護:超溫、水壓、停氣等聲光報警保護
技術參數
● 工作方式:推板式
● 爐管型式:馬蹄形
● 最高溫度:≤1700℃
● 測溫方式:鎢錸熱電偶(定制)
● 恒溫區精度:±5℃
● 恒溫區:≤1000mm(定制)
● 爐管材質:剛玉或不銹鋼
● 冷卻方式:水冷
● 工作方法:連續工作或間歇工作均可
● 保護氣體:H2 、N2等工藝氣體
● 爐膛尺寸:按用戶要求制作
★ 可為用戶量身定制非標準產品
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