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軟著陸閉管擴散爐
設備概述
閉管磷擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，工藝廢氣集中從尾部排出；各種工藝氣體可分開送入石英管內，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入石英管內。閉管擴散方式工藝過程完全不受外界環境干擾，工藝質量完全受控。
設備應用
太陽能電池片P型硅片的基礎上擴散一層N型磷源，形成PN結。
技術參數
● 工藝管的數量：3-4管
● 單臺產能：450片/管
● 結構型式：臥式
● 工作溫度范圍：400～1100℃
● 工藝均勻性：≤±5%(30～60歐姆)
● 氣體流量設定精度：±1%FS
● 氣路系統氣密性：1x10-7pam3/s
● 控制方式：工業微機控制
● 內置五點：PROFILE熱偶
● 工藝曲線數量及工藝步數不受限制
產品特點
配備自動舟升降系統、實現3-4管工藝舟、全自動取料。
● 軟著陸載片裝置
軟著陸載片裝置，避免了SiC漿的遮擋影響，提高了擴散的均勻性，同時漿的清洗周期大幅度延長。
● 自動壓力平衡裝置
為保證反應管內的壓力平衡，該裝置配有進口壓差傳感器檢測爐內外差，并有專門的控制裝置和氣路流量計與之配套實時控制，保證爐內內外壓差為定值。且根據工藝需要改變壓差設定值，從而保證工藝均勻性及工藝擴展性。
● 高精度溫度控制
新型爐體設計提高了溫度的穩定性，配合進口高精度溫控儀進行串級控制，保證工藝過程中溫度的快速穩定。
● 高性能進口元件組合
關鍵件采用進口，且為半導體級別，優質的元件組合，從而保證成膜質量。
● 閉管擴散
工藝片在石英管內實現真正意義上的閉管擴散。
● 全數字化控制系統
觸控平板工業計算機控制系統，功能齊全，數字化管理各種控制部件，性能更加穩定可靠。
● 數字式MFC精確控制氣體流量
數字式MFC的運用，消除了模擬量傳輸的干擾，有益于工藝生產的重復穩定性控制，極大地提高工藝批次件的品質。
● 隔熱和密封的爐門系統
良好的隔熱設計減少了熱量的損失并減少了溫度恢復時間，保證裝載區無污染，使操作人員遠離偏磷酸的危害。
● 防污染的尾部廢氣處理系統
POCl3 殘留物冷凝在石英管容器中，便于安全地處理。 減少了90%以上的有毒氣體，增加了操作人員的安全性。
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