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Led合金/退火爐
Led合金/退火爐主要應用于光電領域，對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，可用于2-6英寸工藝尺寸。
產品特點
● 全中文操作界面，可編輯參數，操作簡便
● 可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步
● 工藝曲線的自動運行控制功能
● 自動運行中可暫停/繼續運行功能
● 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能
● 智能升降溫斜率控制功能
● PID參數自整定功能
● 可存儲多組PID參數供系統運行調用功能
● 系統故障的檢測與報警功能
● 系統誤差修正（單點或多點動態修正功能）
● 智能懸臂推拉舟控制功能
● 工藝氣體的程序控制功能（電磁閥/質量流量控制器）
● 停電后斷點繼續運行功能
★ 該系統可根據用戶的特殊要求增減或開發相應的功能
技術參數
● 工藝管數：1～4管
● 工作溫度：200～1100℃
● 恒溫區長度：300～800mm
● 恒溫區精度：±0.5℃（800～1000℃）
● 單點溫度穩定性：±0.5℃/24h（800～1000℃）
● 最大可控升溫速率：15℃/min
● 最大可控降溫速率：5℃/min
● 氣路系統氣密性：1x10-7Pam3/s
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